В ЗНТЦ завершены работы по созданию первого отечественного литографа

Аватар пользователя Николаев Александр

ЗНТЦ завершил опытно-конструкторские работы по созданию первого отечественного фотолитографа (установка совмещения и проекционного экспонирования) с разрешением 350 нанометров (нм) – ключевого элемента при производстве микросхем. Установка принята государственной комиссией, в работе которой участвовали представители отраслевых организаций и крупнейших российских производителей микроэлектроники.

В качестве соисполнителя для реализации работ была привлечена белорусская компания ОАО «Планар» как организация с профильным научно-техническим заделом всего постсоветского пространства.

«Новая совместная разработка имеет ряд преимуществ: существенно увеличена площадь рабочего поля – 22х22 мм по сравнению с предшествующей – 3,2х3,2 мм, на ступень больше максимальный диаметр обрабатываемых пластин – 200 мм вместо 150 мм. Кроме того, в мировой практике для производства данных литографов в качестве источника излучения используется ртутная лампа, в российской установке впервые использован твердотельный лазер – более мощный и энергоэффективный, с высокой долговечностью и более узким спектром»

генеральный директор АО «ЗНТЦ»

Анатолий Ковалев

В настоящее время ведется адаптация технологических процессов к особенностям производства конечного потребителя, а также заключение контрактов на поставку первых установок для модернизации существующих и оснащения новых микроэлектронных производств страны.

Все испытания разрабатываемого оборудования, а также дальнейшие адаптации технологических процессов к особенностям производств заявившихся заказчиков-предприятий будут проводится на специализированной площадке инженерно-исследовательского центра АО «ЗНТЦ» (Полигоне испытаний технологического оборудования АО «ЗНТЦ»).

Тестирование оборудования электронного машиностроения позволяет решить проблемы отладки, не затрагивая технологические процессы и ресурсы действующих производств, и существенно сократить путь от работки оборудования до серийного выпуска микроэлектронной продукции.

Также сейчас ведутся работы по созданию установки совмещения и проекционного экспонирования с разрешением 130 нм. Завершение работ запланировано на 2026 год.

Авторство: 
Копия чужих материалов
Комментарий автора: 

Тот случай когда действительно важная новость прошло мимо публики совершенно будничной записью. Только вчера различные новостные агрегаторы начали еë постить. 

От себя добавлю, что судя по последним успехам с твердотельными коротковолновыми уф лазерами в Китае, когда нам потребуется установка на 90 нм и ниже, она тоже вполне может быть с твердотельным лазером. 

Комментарии

Аватар пользователя Astro_Graf
Astro_Graf(9 лет 9 месяцев)

350 нм, это почти 90% всей электроники, исключая полноценные процессоры. 

ATMega328 изготавливается на этом техпроцессе, если понимаете о чём я...

Чипы от стиралок и молокоотсосов в безопасности!

Процессор

Количество транзисторов

Год

Дизайнер

Процесс
(нм)

Площадь (мм2)


Плотность
транзисторов (т.р./мм2)

Alpha 21264 EV6 (64-разрядная версия)

15,200,000[60]

1998

ДЕКАБРЬ

350 нм

313,96 мм2

48,400

Аватар пользователя Николаев Александр

350 нм, это почти 90% всей электроники, исключая полноценные процессоры. 

Даже по физическому производству это процентов 10-15, по деньгам и того меньше. Для нейронок, памяти, и п.р. этого мало, потому будут двигаться дальше. 

Чипы от стиралок и молокоотсосов в безопасности!

И чебурнет вещей мы свой построим, с дураком и доярками)  

Аватар пользователя Astro_Graf
Astro_Graf(9 лет 9 месяцев)

по физическому производству это процентов 10-15

Это как?

Аватар пользователя Николаев Александр

Это по штукам пластин эквивалентных 200 мм пластинам. 

Аватар пользователя Astro_Graf
Astro_Graf(9 лет 9 месяцев)

А остальные 90% - это ЧТО?

Аватар пользователя Николаев Александр

Всë что ниже 350 нм

Аватар пользователя Astro_Graf
Astro_Graf(9 лет 9 месяцев)

Ниже, т.е. крупнее?

Аватар пользователя Николаев Александр

Ниже значит меньше по топонормам) 

Аватар пользователя Astro_Graf
Astro_Graf(9 лет 9 месяцев)

Но позвольте, процессоры у меня только в компьютере, ноутбуке и телефоне, а контроллеры во всем, десятками! 

Не может быть такого соотношения! 

Аватар пользователя Николаев Александр

Конечно может, чипы потребляете не только вы)

Что бы закрыть вопрос, покажу стату, к сожаленю только 2020й год. 

Аватар пользователя Another_jim
Another_jim(9 лет 11 месяцев)

Вы в транзисторах считаете?)

площадь контроллера больше, поэтому на пластине их меньше.

Аватар пользователя Византий
Византий(5 лет 11 месяцев)

Очень хорошо, хотя уже и было 

Аватар пользователя Николаев Александр

О, не увидел. Хотя специально искал.... 

Аватар пользователя лже-Карманов
лже-Карманов(1 месяц 3 недели)

Отлично! Осталось наладить их производство.
Так-то это самый востребованный размер для вояк и космонавтов.

Аватар пользователя Николаев Александр

Так-то это самый востребованный размер для вояк и космонавтов.

С учëтом чипов в комптерах и фап-фап дронах уже нет, да и радстойкая уже давно есть и на 65 нм и ниже. 

Я думаю что помимо нашего впк, тут скорее самое важное для нас будет вкладываться в силову. Это золотое "дно") 

Аватар пользователя СибВатник
СибВатник(8 лет 6 месяцев)

Вы много выпили ? Сложно читать и понимать.

Аватар пользователя Николаев Александр

Нет, просто криво выразился(

Аватар пользователя Synapse
Synapse(12 лет 6 месяцев)

самое важное для нас будет вкладываться в силову.

IGBT забацаем? Типа для частотных преобразователей? 

Аватар пользователя Николаев Александр

И не только) 

Аватар пользователя мужик-лапотник

   ... да и радстойкая уже давно есть и на 65 нм и ниже

По какой группе проходит по факторам И1, И2, И3, С3, К3

Аватар пользователя feodor89
feodor89(7 лет 1 месяц)

По факту, это дверь к бытовой технике. А также простой силовой электроники, вплоть до контроллеров двигателей. 

Пригодится

Аватар пользователя е2е4
е2е4(4 месяца 1 неделя)

ОКР скоро в производство передаётся? Есть оборудование для производства самих литографов?

Аватар пользователя Николаев Александр

Сначала испытания, потом производство. Процесс не быстрый, но думаю в пределах пары лет точно управятся. 

Под оборудованием для производства фотолитографов вы что имеете в виду конкретно? Машина сложная, очевидно не всë задействованное в еë производстве оборудование отечественное. 

Аватар пользователя е2е4
е2е4(4 месяца 1 неделя)

Понимая что машина сложная и спрашиваю о наличии таких высокоточных станков для таких изделий. Не знаю что и как для такого "вытачивается".

Аватар пользователя Николаев Александр

Станкостроение это немного другой вопрос, не обязательно прямо сейчас иметь в производстве всю гамму станков для производства фотолитографа. Ведь как минимум один экземпляр уже есть, значит его на чем-то сделали. Если будет такая ситуация, что надо будет разворачивать производства, но вот незадача нужных станков нам не продадут, то тогда будут создавать под эту штуку станки. 

Аватар пользователя borbacuca
borbacuca(4 года 9 месяцев)

на фото лабораторный макет

Аватар пользователя Иван Жуков
Иван Жуков(10 лет 5 месяцев)

Боян. Однако, "новость" того стоит. Совместный с белорусами литограф 350нм к 2025г. - отличное "достижение"! Так что там с законом Мура? Или у нас он не очень действует? ;) Просто, нет слов. Лучше бы молчали.

Аватар пользователя Vitec
Vitec(8 лет 3 месяца)

Нууу ранее MC9S08AW60 микропроцессор уровня начала 90х годов, для стиралки стоил 250 руб, щас за 2500 продают. Так что ....

Аватар пользователя volga17
volga17(6 лет 8 месяцев)

Я не знаю, зачем автор тащит сюда новость, которую перепечатали уже все, кому не лень. Здесь на Афтершоке её уже обсуждали, на "Глобальной авантюре" было, на "Дзене" было, в новостях Гугла практически каждый день какой-нибудь "проснувшийся" автор публикует эту новость заново. Ну разработали специалисты "Планара" этот литограф, молодцы. Сделали первый экземпляр в Зеленограде - тоже хорошо. Второй литограф пока не делают, ждут заказчиков. 

Аватар пользователя Николаев Александр

Да не заметил просто что было уже(

Аватар пользователя Platon
Platon(6 месяцев 2 недели)

smile9.gif

Аватар пользователя Mitchell
Mitchell(9 лет 5 месяцев)

ТС, вы не умеете менять размер фотографии ? Зачем эти 2 фото в необъятных размерах?

Аватар пользователя Николаев Александр

Да нет, умею. Просто с телефона делал, и не видно как оно на пк отображается. 

Аватар пользователя pn
pn(4 года 1 месяц)

350 там уже сейчас с возможностью модернизации до 200

Аватар пользователя rusheff
rusheff(6 лет 4 месяца)

ХЗ что за фото, но попахивает Ан.Окс.нхр. Самое уродское покрытие из известных мне. 

Аватар пользователя Said232
Said232(3 года 11 месяцев)

Горшенин уже выкладывал ролик с этим литографом. Его туда пригласили всёсамому мощупать-полазить. Аппарат действующий, сейчас работает в тестовых режимах.

собрать ещё такие же могут, но смысла пока нет, нацелились на 130, а без хорошей статистики по 350 и наработкам эт туговато идёт. 

Я так понял что печь литографы как пирожки никто не собирается, сделают 3штуки 350, впихнут их клиентам задёшево- чтоб компетенции наработать, разницу в деньгах возьмут с бюджета- и алга, здравствуй 130! И так по кругу. Это продукт чисто внутреннего пользования и относиться к нему надо также. Ну МБР мы же не продаём, даже по назначению не используем.smile109.gif

Аватар пользователя Said232
Said232(3 года 11 месяцев)

думаю , надо четко разделить - это про деньги, а это другое, понимать надо (Цэ).

попытка вывести какой-то общий знаменатель приводит к тому , что условный собачий парикмахер, биржевой спекулянт и обычный купи-продай у нас сравнивают со сталеваром-хлеборобом и условным учителем-врачём. а над этим гордо реют вояки-депутаты-госчиновники. и каждый считает что именно он, тот без кого всё накроется медным тазом. сколько ВВП приносит танк? а боевой корабль? - это в процессе нормального юзания, без катаклизма типа утонул/поломался. - сплошные убытки , никакого дохода. а уж СЯС - вообще туши свет , я не столько про сами МБР(10-15%% максимум) сколько про всю инфраструктуру и персонал. представте, пацана после школы берут , 5 лет дрессируют лучшие в мире специалисты , потом дрессировки продолжаются до самой пенсии - и всё это время он не производит никакого материального продукта. только юность-молодость-зрелость и вообще что называют лучшие годы кладет на алтарь ДолгРодине.

очень смешно было читать про спортсменов , которые тренировались...

а мерять всё на бабло - это такое себе, типа ВВП в рублях или долларах..

в ту-же калитку авиация, ЖД,энергетика, ЖКХ.. тут вопрос не про надо иль ненадо , а можем или нет, эффективность - побоку , потом допилим.

Аватар пользователя абра
абра(7 лет 2 месяца)

в ту-же калитку авиация, ЖД,энергетика, ЖКХ.. тут вопрос не про надо иль ненадо , а можем или нет, эффективность - побоку , потом допилим.

Вот!smile9.gif

И космос тот же - одни расходы - ещё какие!

Правда, космос - это типа мирные отходы от МБР.smile7.gif

А нам для ЗЯТЦ пока и такие тоже надо...

И для промавтоматизации оно, и для силовой.

Аватар пользователя Skygoo
Skygoo(10 лет 7 месяцев)

А США умеют в фотолитографы? Хоть в какие-нибудь?

Аватар пользователя Said232
Said232(3 года 11 месяцев)

ну не совсем фото..

и совсем не литограф...

но кое что печатать умеют..

Аватар пользователя Skygoo
Skygoo(10 лет 7 месяцев)

Да, сейчас уже печатают по триллиону в квартал и объем "производства" увеличивается

Аватар пользователя Said232
Said232(3 года 11 месяцев)

эххх, столько ресуса.. ***** да в мирных целях.. - могли бы уже таукитянам про демократию втирать...

Аватар пользователя Николаев Александр

Насколько я знаю, прямо сейчас фотолитографы не производят. Однако многие американские компании делают критические компоненты для asml. 

При желании и они смогут ( и тоже не сразу ), но это им видимо не особо-то и нужно.