В России произведены первые лазеры для литографии

Минпромторг заявил 26 сентября, что на предприятии ГК «Лассард» были произведены первые опытные образцы эксимерного лазера, который является ключевым для литографического процесса изготовления микроэлектроники с нормами проектирования вплоть до 65 нм.

Эксимерный лазер, опытные образцы которого сегодня произведены ГК "Лассард", позволяет говорить о том, что мы все ближе к производству литографов на 130 нм (который появится в 2026 году), а в перспективе - и на 90нм, – заявил для TAdviser Василий Шпак, замминистра промышленности. – Лазер дает возможность модифицировать характеристики в сторону более тонкой топологии. Более того, скажу, что мы уже ведем работу на перспективу, разрабатывая материалы и заказывая работы для установок 90 нм и 65 нм.

ГК «Лассард» выступает как разработчик эксимерного лазера для литографа. Саму же литографическую установку разрабатывает Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ). Срок ее поставки – 2026 год, но потенциальные заказчики на нее уже есть. Прежде всего, это, конечно, «Микрон», который заинтересован в масштабировании своего производства и на 130 нм, и на 90 нм, и на 65 нм, где по последней топологии есть пока только опытное производство. Естественно, что потребность перевести его в серийное большая. Однако для этого как раз и необходимо литографическое оборудование с соответствующей точностью экспонирования.

В следующем году лазеры разработанные ГК «Лассард» будут поставлены в ЗНТЦ для испытаний совместно с литографом на 130 нм, – пояснил Василий Шпак. – После 2026 года эти лазеры пойдут в серийное производство - будет производиться не менее 5 шт в год. Подобные лазеры в России никогда не производились. В целом, их производят лишь две компании в мире - Cymer (США) и Gigaphoton (Япония).

Впрочем, пять литографических установок в год – это уже хороший результат, поскольку они позволят запустить и масштабировать уже существующие в России производства и наладить промышленный выпуск отечественной микроэлектроники, в частности, таких чипов как MIK32 «Амур», использующие систему команд RISC-V.